Evolution towards thermalization, and diffusion, of sputtered particle fluxes: Spatial profiles

  1. Valles-Abarca, J.A.
  2. Gras-Marti, A.
Aldizkaria:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Argitalpen urtea: 1984

Alea: 55

Zenbakia: 5

Orrialdeak: 1370-1378

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.333227 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus