Evolution towards thermalization, and diffusion, of sputtered particle fluxes: Spatial profiles

  1. Valles-Abarca, J.A.
  2. Gras-Marti, A.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 1984

Ausgabe: 55

Nummer: 5

Seiten: 1370-1378

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.333227 GOOGLE SCHOLAR

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