Energy and momentum transport by sputtered and reflected streams in a glow discharge

  1. Gras-Marti, A.
  2. Valles-Abarca, J.A.
  3. Bensaoula, A.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 1520-8559,  0734-2101

Año de publicación: 1987

Volumen: 5

Número: 4

Páginas: 2217-2221

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.574960 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus