Energy and momentum transport by sputtered and reflected streams in a glow discharge
- Gras-Marti, A.
- Valles-Abarca, J.A.
- Bensaoula, A.
ISSN: 1520-8559, 0734-2101
Datum der Publikation: 1987
Ausgabe: 5
Nummer: 4
Seiten: 2217-2221
Art: Artikel
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films