DEPTH OF DISORDER GENERATION IN LOW ENERGY Ar** plus ION IMPLANTED Si.
- Kostic, S.
- Begemann, W.
- Abril, I.
- Armour, D.G.
- Carter, G.
ISSN: 0042-207X
Año de publicación: 1986
Volumen: 36
Número: 11-12
Páginas: 1019
Tipo: Artículo
ISSN: 0042-207X
Año de publicación: 1986
Volumen: 36
Número: 11-12
Páginas: 1019
Tipo: Artículo