DEPTH OF DISORDER GENERATION IN LOW ENERGY Ar** plus ION IMPLANTED Si.

  1. Kostic, S.
  2. Begemann, W.
  3. Abril, I.
  4. Armour, D.G.
  5. Carter, G.
Aldizkaria:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Argitalpen urtea: 1986

Alea: 36

Zenbakia: 11-12

Orrialdeak: 1019

Mota: Artikulua