DEPTH OF DISORDER GENERATION IN LOW ENERGY Ar** plus ION IMPLANTED Si.
- Kostic, S.
- Begemann, W.
- Abril, I.
- Armour, D.G.
- Carter, G.
ISSN: 0042-207X
Datum der Publikation: 1986
Ausgabe: 36
Nummer: 11-12
Seiten: 1019
Art: Artikel
ISSN: 0042-207X
Datum der Publikation: 1986
Ausgabe: 36
Nummer: 11-12
Seiten: 1019
Art: Artikel