DEPTH OF DISORDER GENERATION IN LOW ENERGY Ar** plus ION IMPLANTED Si.

  1. Kostic, S.
  2. Begemann, W.
  3. Abril, I.
  4. Armour, D.G.
  5. Carter, G.
Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 1986

Ausgabe: 36

Nummer: 11-12

Seiten: 1019

Art: Artikel