Phosphorus doping of silicon by proton induced nuclear reactions
- Abril, I.
- Garcia-Molina, R.
- Erokhin, K.M.
- Kalashnikov, N.P.
Aldizkaria:
Applied Physics Letters
ISSN: 0003-6951
Argitalpen urtea: 1995
Alea: 66
Orrialdeak: 3036
Mota: Artikulua
