Phosphorus doping of silicon by proton induced nuclear reactions
- Abril, I.
- Garcia-Molina, R.
- Erokhin, K.M.
- Kalashnikov, N.P.
Zeitschrift:
Applied Physics Letters
ISSN: 0003-6951
Datum der Publikation: 1995
Ausgabe: 66
Seiten: 3036
Art: Artikel
