Phosphorus doping of silicon by proton induced nuclear reactions
- Abril, I.
- Garcia-Molina, R.
- Erokhin, K.M.
- Kalashnikov, N.P.
Revista:
Applied Physics Letters
ISSN: 0003-6951
Año de publicación: 1995
Volumen: 66
Páginas: 3036
Tipo: Artículo
