Phosphorus doping of silicon by proton induced nuclear reactions

  1. Abril, I.
  2. Garcia-Molina, R.
  3. Erokhin, K.M.
  4. Kalashnikov, N.P.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Any de publicació: 1995

Volum: 66

Pàgines: 3036

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.114269 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus