Depth resolution in depth profiling of marker layers by energetic ion bombardment

  1. Caturla, M.J.
  2. Abril, I.
  3. Jiménez-Rodríguez, J.J.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Ano de publicación: 1995

Volume: 95

Número: 1

Páxinas: 91-96

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0168-583X(94)00319-X GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus