Depth resolution in depth profiling of marker layers by energetic ion bombardment

  1. Caturla, M.J.
  2. Abril, I.
  3. Jiménez-Rodríguez, J.J.
Zeitschrift:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 95

Nummer: 1

Seiten: 91-96

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0168-583X(94)00319-X GOOGLE SCHOLAR
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