Significance of charge exchange in the determination of yields in broad-beam ion etching
ISSN: 0042-207X
Ano de publicación: 1989
Volume: 39
Número: 7-8
Páxinas: 683-685
Tipo: Artigo
ISSN: 0042-207X
Ano de publicación: 1989
Volume: 39
Número: 7-8
Páxinas: 683-685
Tipo: Artigo