Spatial profile of deposited energy by the sputtered flux in a glow discharge

  1. Moreno-Marín, J.C.
  2. Abril, I.
  3. Garcia-Molina, R.
  4. Pérez-Martín, A.M.C.
  5. Jiménez-Rodríguez, J.J.
Aldizkaria:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Argitalpen urtea: 1997

Alea: 48

Zenbakia: 7-9

Orrialdeak: 685-688

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/S0042-207X(97)00056-0 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus