Spatial profile of deposited energy by the sputtered flux in a glow discharge

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  2. Abril, I.
  3. Garcia-Molina, R.
  4. Pérez-Martín, A.M.C.
  5. Jiménez-Rodríguez, J.J.
Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 48

Nummer: 7-9

Seiten: 685-688

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0042-207X(97)00056-0 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus