Theoretical and experimental study of high fluence germanium implantation into silicon. Contribution of atomic mixing

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Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 1982

Volumen: 32

Número: 7

Páginas: 433-437

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0042-207X(82)94066-0 GOOGLE SCHOLAR
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