Fabrication of amorphous micro-ring arrays in crystalline silicon using ultrashort laser pulses
- Fuentes-Edfuf, Y.
- Garcia-Lechuga, M.
- Puerto, D.
- Florian, C.
- Garcia-Leis, A.
- Sanchez-Cortes, S.
- Solis, J.
- Siegel, J.
Zeitschrift:
Applied Physics Letters
ISSN: 0003-6951
Datum der Publikation: 2017
Ausgabe: 110
Nummer: 21
Art: Artikel