Lattice kinetic Monte Carlo simulation of epitaxial growth of silicon thin films in H2/SiH4 chemical vapor deposition systems
- Balbuena, J.P.
- Martin-Bragado, I.
Revista:
Thin Solid Films
ISSN: 0040-6090
Any de publicació: 2017
Volum: 634
Pàgines: 121-133
Tipus: Article