Sputter depth profile analysis of marker layers

  1. Peinador, J.A.
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Revista:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 1096-9918,  0142-2421

Año de publicación: 1990

Volumen: 15

Número: 8

Páginas: 463-465

Tipo: Artículo

DOI: 10.1002/SIA.740150804 GOOGLE SCHOLAR
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