Sputter depth profile analysis of marker layers

  1. Peinador, J.A.
  2. Abril, I.
  3. Jiménez‐Rodríguez, J.J.
  4. Gras‐Marti, A.
Zeitschrift:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 1096-9918,  0142-2421

Datum der Publikation: 1990

Ausgabe: 15

Nummer: 8

Seiten: 463-465

Art: Artikel

DOI: 10.1002/SIA.740150804 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus