The effects of model parameter variations on high-fluence ion implantation

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Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 1993

Volumen: 44

Número: 8

Páginas: 783-789

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0042-207X(93)90307-V GOOGLE SCHOLAR
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