The effects of model parameter variations on high-fluence ion implantation

  1. Carter, G.
  2. Nobes, M.
  3. Katardjiev, I.
  4. Abril, I.
  5. Gras-Marti, A.
  6. Jimenez-Rodriguez, J.
  7. Peinador, J.
Aldizkaria:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Argitalpen urtea: 1993

Alea: 44

Zenbakia: 8

Orrialdeak: 783-789

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0042-207X(93)90307-V GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus