Disordering and defect production in silicon by keV ion irradiation studied by molecular dynamics

  1. Caturla, M.J.
  2. Diaz de la Rubia, T.
  3. Gilmer, G.H.
Zeitschrift:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 106

Nummer: 1-4

Seiten: 1-8

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0168-583X(95)00668-0 GOOGLE SCHOLAR