Studies on transport of sputtered atoms in plasma sputter-deposition systems
- Moreno-Marin, J.C.
- Athavale, S.
- Gras-Marti, A.
- Auciello, O.
Konferenzberichte:
91 IEEE Int Conf Plasma Sci
ISBN: 0780301471
Datum der Publikation: 1991
Seiten: 122
Art: Konferenz-Beitrag