Studies on transport of sputtered atoms in plasma sputter-deposition systems
- Moreno-Marin, J.C.
- Athavale, S.
- Gras-Marti, A.
- Auciello, O.
Actes:
91 IEEE Int Conf Plasma Sci
ISBN: 0780301471
Any de publicació: 1991
Pàgines: 122
Tipus: Aportació congrés