Energy spectra of reflected and sputtered particles in magnetron deposition systems

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Revue:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Année de publication: 1994

Volumen: 45

Número: 10-11

Pages: 1135-1137

Type: Article

DOI: 10.1016/0042-207X(94)90046-9 GOOGLE SCHOLAR

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