Energy spectra of reflected and sputtered particles in magnetron deposition systems

  1. Moreno-Marín, J.
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  5. Jiménez-Rodriguez, J.
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Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 1994

Ausgabe: 45

Nummer: 10-11

Seiten: 1135-1137

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0042-207X(94)90046-9 GOOGLE SCHOLAR

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