Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión
- PEON FERNANDEZ, JAIME
- José Juan Jiménez Rodríguez Directeur/trice
Université de défendre: Universidad Complutense de Madrid
Année de défendre: 1982
- Carlos Sánchez del Río President
- Albert Gras Martí Secrétaire
- Elías Muñoz Merino Rapporteur
- Maximino Rodríguez Vidal Rapporteur
- José Campos Gutiérrez Rapporteur
Type: Thèses
Résumé
Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.