Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión
- PEON FERNANDEZ, JAIME
- José Juan Jiménez Rodríguez Director/a
Universitat de defensa: Universidad Complutense de Madrid
Any de defensa: 1982
- Carlos Sánchez del Río President/a
- Albert Gras Martí Secretari
- Elías Muñoz Merino Vocal
- Maximino Rodríguez Vidal Vocal
- José Campos Gutiérrez Vocal
Tipus: Tesi
Resum
Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.