Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión
- PEON FERNANDEZ, JAIME
- José Juan Jiménez Rodríguez Doktorvater/Doktormutter
Universität der Verteidigung: Universidad Complutense de Madrid
Jahr der Verteidigung: 1982
- Carlos Sánchez del Río Präsident/in
- Albert Gras Martí Sekretär
- Elías Muñoz Merino Vocal
- Maximino Rodríguez Vidal Vocal
- José Campos Gutiérrez Vocal
Art: Dissertation
Zusammenfassung
Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.