Atomic mixing effects on high fluence Ge implantation into Si at 40 keV

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Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods

ISSN: 0029-554X

Datum der Publikation: 1982

Ausgabe: 194

Nummer: 1-3

Seiten: 449-451

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0029-554X(82)90562-6 GOOGLE SCHOLAR
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