Fabrication of High-κ Dielectric Metal Oxide Films on Topographically Patterned Substrates: Polymer Brush-Mediated Depositions

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Revista:
ACS Applied Materials and Interfaces

ISSN: 1944-8252,  1944-8244

Año de publicación: 2022

Volumen: 14

Número: 28

Páginas: 32729-32737

Tipo: Artículo

DOI: 10.1021/ACSAMI.2C07966 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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