The contribution of fast neutrals to cathode erosion in glow discharges

  1. Abril, I.
  2. Gras-Marti, A.
  3. Valles-Abarca, J.A.
Revista:
Journal of Physics D: Applied Physics

ISSN: 0022-3727

Año de publicación: 1984

Volumen: 17

Número: 9

Páginas: 1841-1849

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1088/0022-3727/17/9/009 GOOGLE SCHOLAR

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