The contribution of fast neutrals to cathode erosion in glow discharges

  1. Abril, I.
  2. Gras-Marti, A.
  3. Valles-Abarca, J.A.
Zeitschrift:
Journal of Physics D: Applied Physics

ISSN: 0022-3727

Datum der Publikation: 1984

Ausgabe: 17

Nummer: 9

Seiten: 1841-1849

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1088/0022-3727/17/9/009 GOOGLE SCHOLAR

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