Facet development and its influence on depth resolution during sputtering of Si
- Carter, G.
- Nobes, M.J.
- Abril, I.
- Garcia‐Molina, R.
ISSN: 1096-9918, 0142-2421
Any de publicació: 1985
Volum: 7
Número: 1
Pàgines: 41-48
Tipus: Article
ISSN: 1096-9918, 0142-2421
Any de publicació: 1985
Volum: 7
Número: 1
Pàgines: 41-48
Tipus: Article