Energy transfer processes in glow discharges

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Revue:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 1520-8559,  0734-2101

Année de publication: 1986

Volumen: 4

Número: 3

Pages: 1773-1778

Type: Article

DOI: 10.1116/1.573936 GOOGLE SCHOLAR

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