Multiscale simulation of the focused electron beam induced deposition process
- de Vera, P.
- Azzolini, M.
- Sushko, G.
- Abril, I.
- Garcia-Molina, R.
- Dapor, M.
- Solov’yov, I.A.
- Solov’yov, A.V.
Zeitschrift:
Scientific Reports
ISSN: 2045-2322
Datum der Publikation: 2020
Ausgabe: 10
Nummer: 1
Art: Artikel