Linking ab initio energetics to experiment: kinetic Monte Carlo simulation of transient enhanced diffusion of B in Si
- Theiss, Silva K.
- Caturla, M.-J.
- de la Rubia, T.Diaz
- Johnson, M.C.
- Ural, Ant
- Griffin, P.B.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Datum der Publikation: 1999
Ausgabe: 538
Seiten: 291-295
Art: Artikel