SISTEMA DE GENERACION MICRO-TOPOGRAFICA POR PULVERIZACION CATODICA.
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Universitat d'Alacant
info
Universitat d'Alacant
Alicante, España
ES2302401A1 (01-07-2008)
ES2302401B2 (16-03-2009)
P200501345 (03-06-2005)
Zusammenfassung
Sistema de generación micro-topográfica por pulverización catódica. Consistente en un circuito eléctrico autorregulado que produce una emisión de iones controlada electro-magnéticamente por el propio flujo de iones. Mientras se autorregula mediante él, la corriente eléctrica que circula por él y el campo magnético que ésta genera, permitiendo con este sencillo método, controlar la deposición de iones y creando con ello topografías a nivel atómico, tanto por su posición tridimensional como por su composición. Todo ello realizado en los materiales y con las técnicas adecuados que favorezcan la micro-topografía en cada caso.