Fabrication of amorphous-crystalline micro- and nanostructures in silicon using ultrashort laser pulses
- Fuentes-Edfuf, Y.
- Garcia-Lechuga, M.
- Puerto, D.
- Florian, C.
- Garcia-Leis, A.
- Sanchez-Cortes, S.
- Solis, J.
- Siegel, J.
Actes:
Optics InfoBase Conference Papers
ISBN: 9781509067367
Any de publicació: 2017
Volum: Part F82-CLEO_Europe 2017
Tipus: Aportació congrés