Ion-beam processing of silicon at keV energies: A molecular-dynamics study

  1. Caturla, M.
  2. Díaz de la Rubia, T.
  3. Marqués, L.
  4. Gilmer, G.
Zeitschrift:
Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

ISSN: 1550-235X,  1098-0121

Datum der Publikation: 1996

Ausgabe: 54

Nummer: 23

Seiten: 16683-16695

Art: Artikel

DOI: 10.1103/PHYSREVB.54.16683 GOOGLE SCHOLAR

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