Oxygen ECR stream etching of dichromated gelatin films

  1. Villalvilla, J.M.
  2. Crespo, J.
  3. Quintana, J.A.
  4. Santos, C.
  5. Valles-Abarca, J.A.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 1998

Ausgabe: 317

Nummer: 1-2

Seiten: 340-342

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0040-6090(97)00648-2 GOOGLE SCHOLAR