Transport processes in plasma assisted deposition of superconducting thin films

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Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 1990

Ausgabe: 41

Nummer: 4-6

Seiten: 867-869

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0042-207X(90)93807-U GOOGLE SCHOLAR
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