Doping of silicon with phosphorus using the30Si(p, γ)31P resonant nuclear reaction

  1. Heredia-Avalos, S.
  2. Garcia-Molina, R.
  3. Abril, I.
  4. Kalashnikov, N.P.
Revista:
Physica Status Solidi (A) Applied Research

ISSN: 0031-8965

Any de publicació: 1999

Volum: 176

Número: 2

Pàgines: 867-875

Tipus: Article

DOI: 10.1002/(SICI)1521-396X(199912)176:2<867::AID-PSSA867>3.0.CO;2-L GOOGLE SCHOLAR