The effect of parameter choice on predicted depth resolution in sputter profiling

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Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1992

Volumen: 67

Número: 1-4

Páginas: 486-490

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0168-583X(92)95857-N GOOGLE SCHOLAR

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