Fachbereich
FISICA, INGENIERIA DE SISTEMAS Y TEORIA DE LA SEÑAL
Artikel (1) Publikationen, an denen Forscher/innen teilgenommen haben
1986
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SECONDARY EFFECTS IN ION MILLING.
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Vol. 4, Núm. 1, pp. 322-325